Троицкий, Вячеслав Юрьевич - Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Троицкий, Вячеслав Юрьевич.

Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 200 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
кремний
ионные пучки
OD 61 97-1/23-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМодификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 19.03.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание200 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
кремний
ионные пучки
BBK-кодВ333.13,03
В379.227,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-1/23-5