Шибков, Андрей Анатольевич - Численное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Шибков, Андрей Анатольевич.
Численное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 112 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
моделирование кремниевых приборов
Шифр хранения:
OD 61 97-1/95-2

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЧисленное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 27.04.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание112 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
моделирование кремниевых приборов
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-1/95-2