Шибков, Андрей Анатольевич - Численное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Шибков, Андрей Анатольевич.

Численное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 112 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
моделирование кремниевых приборов
OD 61 97-1/95-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЧисленное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 27.04.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание112 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
моделирование кремниевых приборов
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-1/95-2