Таперо, Константин Иванович - Кинетика накопления и отжига радиационных дефектов в активных областях кремниевых МОП и КМОП структур : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Таперо, Константин Иванович.

Кинетика накопления и отжига радиационных дефектов в активных областях кремниевых МОП и КМОП структур : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 189 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
радиационные дефекты
ремниевые структуры
OD 61 97-1/251-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеКинетика накопления и отжига радиационных дефектов в активных областях кремниевых МОП и КМОП структур : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 06.06.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание189 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
радиационные дефекты
ремниевые структуры
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-1/251-3