Хамаев, Валентин Александрович. - Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.17.03. - Москва, 1996. - 333 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Хамаев, Валентин Александрович.
Хамаев, Валентин Александрович.
Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.17.03. - Москва, 1996. - 333 с. : ил.

Технология электрохимических процессов
ток периодический
медь
золото
микроэлектроника
Шифр хранения:
OD 71 97-5/35

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеТеория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.17.03
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 03.07.1997
Дата поступления в ЭБ РГБ 16.08.2023
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание333 с. : ил.
ТемаТехнология электрохимических процессов
Термины-указателиток периодический
медь
золото
микроэлектроника
Специальность05.17.03: Технология электрохимических процессов и защита от коррозии
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 97-5/35
Электронный адрес Электронный ресурс