Хамаев, Валентин Александрович - Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.17.03

Карточка

Хамаев, Валентин Александрович.

Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.17.03. - Москва, 1996. - 333 с. : ил.
Технология электрохимических процессов
ток периодический
медь
золото
микроэлектроника
OD 71 97-5/35-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеТеория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.17.03
Дата поступления в ЭК 03.07.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание333 с. : ил.
ТемаТехнология электрохимических процессов
ток периодический
медь
золото
микроэлектроника
Специальность05.17.03: Технология электрохимических процессов и защита от коррозии
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 97-5/35-6