Одиноков, Вадим Васильевич - Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07

Карточка

Одиноков, Вадим Васильевич.

Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07. - Москва, 1995. - 32 с.; 20х15 см.
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
вакуумное оборудование
система распыления
СБИС
OD 71 97-5/74-7

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОсновы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07
Дата поступления в ЭК 14.07.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание32 с.; 20х15 см
ТемаАвтоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
вакуумное оборудование
система распыления
СБИС
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 97-5/74-7