Одиноков, Вадим Васильевич. - Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07. - Москва, 1995. - 32 с.; 20х15 см.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Одиноков, Вадим Васильевич.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07. - Москва, 1995. - 32 с.; 20х15 см.
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
вакуумное оборудование
система распыления
СБИС
Шифр хранения:
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07. - Москва, 1995. - 32 с.; 20х15 см.
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
вакуумное оборудование
система распыления
СБИС
Шифр хранения:
OD 71 97-5/74
Описание
Автор | Одиноков, Вадим Васильевич |
---|---|
Заглавие | Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 14.07.1997 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 16.11.2023 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 1995 |
Физическое описание | 32 с.; 20х15 см |
Тема | Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям ) |
Термины-указатели | вакуумное оборудование |
система распыления | |
СБИС | |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 71 97-5/74 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |