Михайлов, Анатолий Васильевич - Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14

Карточка

Михайлов, Анатолий Васильевич.

Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14. - Санкт-Петербург, 1996. - 144 с. : ил.
Технология приборостроения
высококачественные покрытия
OD 61 97-5/277-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14
Дата поступления в ЭК 06.08.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1996
Физическое описание144 с. : ил.
ТемаТехнология приборостроения
высококачественные покрытия
BBK-кодК960.420.253-1,0
Специальность05.11.14: Технология приборостроения
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-5/277-5