Турилин, Сергей Митрофанович - Экспериментальные исследования и численное моделирование газодинамических течений в процессах газофазной эпитаксии кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Турилин, Сергей Митрофанович.

Экспериментальные исследования и численное моделирование газодинамических течений в процессах газофазной эпитаксии кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1996. - 140 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
кремний
течения газодинамические
OD 61 97-5/544-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЭкспериментальные исследования и численное моделирование газодинамических течений в процессах газофазной эпитаксии кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 08.08.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание140 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
кремний
течения газодинамические
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-5/544-8