Козлов, Владимир Валентинович - Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Козлов, Владимир Валентинович.

Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1997. - 178 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
полирование
OD 61 97-5/566-9

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 12.08.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание178 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
полирование
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-5/566-9