Чукалина, Марина Валерьевна - Реконструкция микрорельефа поверхности и состава приповерхностных слоев объектов микроэлектроники по рентгенофлуоресцентному сигналу : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Чукалина, Марина Валерьевна.

Реконструкция микрорельефа поверхности и состава приповерхностных слоев объектов микроэлектроники по рентгенофлуоресцентному сигналу : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 1996. - 102 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
микроэлектроника
OD 61 97-1/294-7

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРеконструкция микрорельефа поверхности и состава приповерхностных слоев объектов микроэлектроники по рентгенофлуоресцентному сигналу : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 13.08.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеЧерноголовка, 1996
Физическое описание102 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
микроэлектроника
BBK-кодВ374.99,03
В372.6с25,03
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-1/294-7