Свиркова, Наталья Николаевна - Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10

Карточка

Свиркова, Наталья Николаевна.

Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 209 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
свойства карбида кремния
OD 61 97-5/729-7

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 10.09.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание209 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
свойства карбида кремния
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-5/729-7