Свиркова, Наталья Николаевна - Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Свиркова, Наталья Николаевна.
Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 209 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
свойства карбида кремния
Шифр хранения:
Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 209 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
свойства карбида кремния
Шифр хранения:
OD 61 97-5/729-7
Описание
Автор | Свиркова, Наталья Николаевна |
---|---|
Заглавие | Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 10.09.1997 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 1996 |
Физическое описание | 209 с. : ил. |
Тема | Физика полупроводников и диэлектриков |
Термины-указатели | свойства карбида кремния |
Специальность | 01.04.10: Физика полупроводников |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 97-5/729-7 |