Свиркова, Наталья Николаевна - Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Свиркова, Наталья Николаевна.
Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 209 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
свойства карбида кремния
Шифр хранения:
OD 61 97-5/729-7

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 10.09.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание209 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
свойства карбида кремния
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-5/729-7