Райнова, Мария Юрьевна - Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Райнова, Мария Юрьевна.

Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 129 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
омические контакты
кремниевые ИС
OD 61 97-5/691-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 02.09.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание129 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
омические контакты
кремниевые ИС
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-5/691-6