Райнова, Мария Юрьевна - Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Райнова, Мария Юрьевна.
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 129 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
омические контакты
кремниевые ИС
Шифр хранения:
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 129 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
омические контакты
кремниевые ИС
Шифр хранения:
OD 61 97-5/691-6
Описание
Автор | Райнова, Мария Юрьевна |
---|---|
Заглавие | Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 02.09.1997 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 1996 |
Физическое описание | 129 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
Термины-указатели | омические контакты |
кремниевые ИС | |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 97-5/691-6 |