Райнова, Мария Юрьевна. - Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 129 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Райнова, Мария Юрьевна.
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 129 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
омические контакты
кремниевые ИС
Шифр хранения:
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 129 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
омические контакты
кремниевые ИС
Шифр хранения:
OD 61 97-5/691
Описание
| Автор | Райнова, Мария Юрьевна |
|---|---|
| Заглавие | Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим р-п-переходам кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 02.09.1997 |
| Каталоги | Диссертации |
| Выходные данные | Москва, 1996 |
| Физическое описание | 129 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| Термины-указатели | омические контакты |
| кремниевые ИС | |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 61 97-5/691 |
