Сошников, Илья Петрович - Исследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов A3 B5 при бомбардировке ионами Ar+, Xe+, N2+ и смесью ионов и смесью ионов Ar+ - I2+ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Карточка

Сошников, Илья Петрович.

Исследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов A3 B5 при бомбардировке ионами Ar+, Xe+, N2+ и смесью ионов и смесью ионов Ar+ - I2+ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Санкт-Петербург, 1996. - 134 с. : ил.
Физика твердого тела
полупроводниковые материалы
OD 61 97-1/223-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов A3 B5 при бомбардировке ионами Ar+, Xe+, N2+ и смесью ионов и смесью ионов Ar+ - I2+ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Дата поступления в ЭК 05.09.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1996
Физическое описание134 с. : ил.
ТемаФизика твердого тела
полупроводниковые материалы
BBK-кодВ379.227,03
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-1/223-8