Сошников, Илья Петрович. - Исследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов A3 B5 при бомбардировке ионами Ar+, Xe+, N2+ и смесью ионов и смесью ионов Ar+ - I2+ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Санкт-Петербург, 1996. - 134 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Сошников, Илья Петрович.
Исследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов A3 B5 при бомбардировке ионами Ar+, Xe+, N2+ и смесью ионов и смесью ионов Ar+ - I2+ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Санкт-Петербург, 1996. - 134 с. : ил.
Физика твердого тела
полупроводниковые материалы
Шифр хранения:
Исследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов A3 B5 при бомбардировке ионами Ar+, Xe+, N2+ и смесью ионов и смесью ионов Ar+ - I2+ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Санкт-Петербург, 1996. - 134 с. : ил.
Физика твердого тела
полупроводниковые материалы
Шифр хранения:
OD 61 97-1/223
Описание
Автор | Сошников, Илья Петрович |
---|---|
Заглавие | Исследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов A3 B5 при бомбардировке ионами Ar+, Xe+, N2+ и смесью ионов и смесью ионов Ar+ - I2+ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 05.09.1997 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Санкт-Петербург, 1996 |
Физическое описание | 134 с. : ил. |
Тема | Физика твердого тела |
Термины-указатели | полупроводниковые материалы |
BBK-код | В379.227,03 |
Специальность | 01.04.07: Физика конденсированного состояния |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 97-1/223 |