Красников, Геннадий Яковлевич - Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01

Карточка

Красников, Геннадий Яковлевич.

Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 277 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
КМОП БИС массового производства
OD 71 97-5/197-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФизико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 25.09.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание277 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
КМОП БИС массового производства
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 97-5/197-2