Боднарь, Олег Борисович - Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Карточка

Боднарь, Олег Борисович.

Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Москва, 1997. - 96 с. : ил.
Физика твердого тела
диффузия бора и фосфора
OD 61 97-1/551-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеТеоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Дата поступления в ЭК 08.10.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание96 с. : ил.
ТемаФизика твердого тела
диффузия бора и фосфора
BBK-кодВ379.256,03
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-1/551-2