Баровский, Николай Васильевич - Газофазная кристаллизация соединений 111-V с использованием гидридов : На прим. GaAs и AlN : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Баровский, Николай Васильевич.

Газофазная кристаллизация соединений 111-V с использованием гидридов : На прим. GaAs и AlN : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1996. - 280 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
газофазная кристаллизация соединений; использование гидридов
OD 61 97-0/19-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеГазофазная кристаллизация соединений 111-V с использованием гидридов : На прим. GaAs и AlN : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 29.10.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание280 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
газофазная кристаллизация соединений; использование гидридов
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-0/19-2