Баровский, Николай Васильевич - Газофазная кристаллизация соединений 111-V с использованием гидридов : На прим. GaAs и AlN : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Баровский, Николай Васильевич.
Газофазная кристаллизация соединений 111-V с использованием гидридов : На прим. GaAs и AlN : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1996. - 280 с.

Технология полупроводников и материалов электронной техники
газофазная кристаллизация соединений; использование гидридов
Шифр хранения:
OD 61 97-0/19-2

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеГазофазная кристаллизация соединений 111-V с использованием гидридов : На прим. GaAs и AlN : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 29.10.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание280 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
газофазная кристаллизация соединений; использование гидридов
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-0/19-2