Белянина, Елена Викторовна - Влияние циркония на важнейшие структурные и электрофизические характеристики полупроводникового кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Белянина, Елена Викторовна.

Влияние циркония на важнейшие структурные и электрофизические характеристики полупроводникового кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1996. - 240 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
влияние циркония; важнейшие структурные характеристики; полупроводниковый кремний
OD 61 97-0/27-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние циркония на важнейшие структурные и электрофизические характеристики полупроводникового кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 29.10.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание240 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
влияние циркония; важнейшие структурные характеристики; полупроводниковый кремний
BBK-кодЛ253.2-106.33,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-0/27-3