Сазонов, Андрей Юрьевич - Микроструктурная неоднородность и термическая стабильность пленок a-Si: H и сплавов на его основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Сазонов, Андрей Юрьевич.

Микроструктурная неоднородность и термическая стабильность пленок a-Si: H и сплавов на его основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1997. - 191 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
термическая стабильность материалов
OD 61 97-5/884-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМикроструктурная неоднородность и термическая стабильность пленок a-Si: H и сплавов на его основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 04.11.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание191 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
термическая стабильность материалов
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-5/884-6