Лебедев, Сергей Владимирович - Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Лебедев, Сергей Владимирович.

Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1997. - 124 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
структуры СБИС
OD 61 97-5/1018-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСовершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 11.11.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание124 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
структуры СБИС
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-5/1018-2