Сапольков, Александр Юрьевич - Геттерирование подвижных ионов в диэлектрических слоях МДП-структур : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Сапольков, Александр Юрьевич.

Геттерирование подвижных ионов в диэлектрических слоях МДП-структур : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1996. - 103 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
диэлектрические слои
OD 61 97-1/492-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеГеттерирование подвижных ионов в диэлектрических слоях МДП-структур : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 29.09.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание103 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
диэлектрические слои
BBK-кодВ379.271.5,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 97-1/492-3