Васильев, Андрей Георгиевич - Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Васильев, Андрей Георгиевич.

Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1995. - 307 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
технология микроэлектроники
OD 71 97-1/183-4

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 30.10.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание307 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
технология микроэлектроники
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 97-1/183-4