Васильев, Андрей Георгиевич - Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Васильев, Андрей Георгиевич.
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1995. - 307 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
технология микроэлектроники
Шифр хранения:
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1995. - 307 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
технология микроэлектроники
Шифр хранения:
OD 71 97-1/183
Описание
Автор | Васильев, Андрей Георгиевич |
---|---|
Заглавие | Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 30.10.1997 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 29.06.2023 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 1995 |
Физическое описание | 307 с. : ил. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
Термины-указатели | технология микроэлектроники |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 71 97-1/183 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |