Соломкин, Федор Юрьевич - Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10

Карточка

Соломкин, Федор Юрьевич.
Соломкин, Федор Юрьевич.

Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1997. - 162 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
OD 61 99-5/327-0

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеНанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 20.04.1999
Дата поступления в ЭБ 10.04.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1997
Физическое описание162 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодЗ252.4-060.7,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/327-0
Электронный адрес Электронный ресурс