Соломкин, Федор Юрьевич. - Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1997. - 162 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Соломкин, Федор Юрьевич.
Соломкин, Федор Юрьевич.
Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1997. - 162 с.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
OD 61 99-5/327

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеНанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.10
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 20.04.1999
Дата поступления в ЭБ РГБ 09.04.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1997
Физическое описание162 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодЗ252.4-060.7,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/327
Электронный адрес Электронный ресурс