Тупик, Виктор Анатольевич - Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Тупик, Виктор Анатольевич.
Тупик, Виктор Анатольевич.

Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07. - Санкт-Петербург, 1998. - 138 с.
Оборудование производства электронной техники
OD 61 99-5/326-2

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 20.04.1999
Дата поступления в ЭБ 10.04.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1998
Физическое описание138 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/326-2
Электронный адрес Электронный ресурс