Тупик, Виктор Анатольевич - Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07

Тупик, Виктор Анатольевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Тупик, Виктор Анатольевич.
Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07. - Санкт-Петербург, 1998. - 138 с.

Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 99-5/326-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 20.04.1999
Дата поступления в ЭБ 10.04.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1998
Физическое описание138 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/326-2
Электронный адрес Электронный ресурс