Кройчук, К. Л. - Исследование и разработка барьерных пленок с толщинами до 100 А на входе микроканальных пластин для электровакуумных приборов 3-го поколения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Кройчук, К. Л.

Исследование и разработка барьерных пленок с толщинами до 100 А на входе микроканальных пластин для электровакуумных приборов 3-го поколения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1994. - 156с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 61 94-0/192-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка барьерных пленок с толщинами до 100 А на входе микроканальных пластин для электровакуумных приборов 3-го поколения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 15.04.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание156с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-0/192-1