Овчаренко, Евгений Николаевич - Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Овчаренко, Евгений Николаевич.

Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1993. - 141 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 61 94-5/788-4

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 15.04.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1993
Физическое описание141 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-5/788-4