Рогов, В. В. - Разработка процессов механической и химико-механической обработки пластин арсенида галлия, кремния, сапфира, керамики для полупроводниковых приборов и интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Рогов, В. В.

Разработка процессов механической и химико-механической обработки пластин арсенида галлия, кремния, сапфира, керамики для полупроводниковых приборов и интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1993. - 71 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 61 94-0/129-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка процессов механической и химико-механической обработки пластин арсенида галлия, кремния, сапфира, керамики для полупроводниковых приборов и интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 15.04.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1993
Физическое описание71 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-0/129-8