Соловьев, С. И. - Распределение температурных полей и точечных дефектов в кремниевых структурах при быстрой термической обработке : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Соловьев, С. И.

Распределение температурных полей и точечных дефектов в кремниевых структурах при быстрой термической обработке : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1993. - 168 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 61 94-0/141-7

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРаспределение температурных полей и точечных дефектов в кремниевых структурах при быстрой термической обработке : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 15.04.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеТаганрог, 1993
Физическое описание168 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-0/141-7