Шаханов, Александр Вадимович - Синтез фтор-силикатного стекла в СВЧ-плазме атмосферного давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Шаханов, Александр Вадимович.

Синтез фтор-силикатного стекла в СВЧ-плазме атмосферного давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1994. - 118 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
OD 61 94-1/394-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСинтез фтор-силикатного стекла в СВЧ-плазме атмосферного давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 15.04.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание118 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-1/394-5