Черновец, Борис Васильевич - Синтез и люминесценция легированного нитрида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Черновец, Борис Васильевич.

Синтез и люминесценция легированного нитрида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Санкт-Петербург, 1993. - 149 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 61 94-5/624-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСинтез и люминесценция легированного нитрида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 19.04.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1993
Физическое описание149 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЛ746.48,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-5/624-1