Агеев, Олег Алексеевич - Исследование температурных полей, напряжений и дефектрообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Агеев, Олег Алексеевич.
Агеев, Олег Алексеевич.

Исследование температурных полей, напряжений и дефектрообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1996. - 16 c. : ил.
Твердотельная электроника и микроэлектроника

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование температурных полей, напряжений и дефектрообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 03.12.2008
Дата поступления в ЭБ 03.10.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеТаганрог, 1996
Физическое описание16 c. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс