Шевяков, Василий Иванович - Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01

Карточка

Шевяков, Василий Иванович.
Шевяков, Василий Иванович.

Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. - Москва, 1998. - 367 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 71 99-5/186-2

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФизико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 18.05.1999
Дата поступления в ЭБ 25.12.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание367 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 99-5/186-2
Электронный адрес Электронный ресурс