Шевяков, Василий Иванович. - Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. - Москва, 1998. - 367 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Шевяков, Василий Иванович.
Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. - Москва, 1998. - 367 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. - Москва, 1998. - 367 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
OD 71 99-5/186
Описание
| Автор | Шевяков, Василий Иванович |
|---|---|
| Заглавие | Физико-технологические особенности создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 18.05.1999 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 25.12.2014 |
| Каталоги | Диссертации |
| Выходные данные | Москва, 1998 |
| Физическое описание | 367 с. : ил. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 71 99-5/186 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
