Суровцев, Игорь Степанович - Высокочастотная индукционная и плазменная обработка кремния и гетероструктур : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.27.01

Карточка

Суровцев, Игорь Степанович.

Высокочастотная индукционная и плазменная обработка кремния и гетероструктур : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.27.01. - Воронеж, 1998. - 82 с. : ил.; 20х14 см.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 71 99-0/79-0

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВысокочастотная индукционная и плазменная обработка кремния и гетероструктур : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 07.06.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеВоронеж, 1998
Физическое описание82 с. : ил.; 20х14 см
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 99-0/79-0