Фурманов, Геннадий Петрович - Разработка и внедрение полупроводниковых материалов со специальными свойствами для приборов электронной техники и промышленной технологии их производства : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06

Карточка

Фурманов, Геннадий Петрович.

Разработка и внедрение полупроводниковых материалов со специальными свойствами для приборов электронной техники и промышленной технологии их производства : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - Калуга, Б. г. - 176 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 71 99-0/60-X

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и внедрение полупроводниковых материалов со специальными свойствами для приборов электронной техники и промышленной технологии их производства : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 15.06.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеКалуга, Б. г.
Физическое описание176 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 99-0/60-X