Большепаев, Олег Юрьевич - Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Большепаев, Олег Юрьевич.
Большепаев, Олег Юрьевич.

Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1999. - 205 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 61 99-5/452-8

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 07.06.1999
Дата поступления в ЭБ 11.04.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1999
Физическое описание205 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЛ434.063.63,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/452-8
Электронный адрес Электронный ресурс