Балашов, Владимир Николаевич - Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07

Карточка

Балашов, Владимир Николаевич.
Балашов, Владимир Николаевич.

Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07. - Москва, 1998. - 299 с.
Оборудование производства электронной техники
OD 71 99-5/386-5

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 06.07.1999
Дата поступления в ЭБ 25.12.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание299 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 99-5/386-5
Электронный адрес Электронный ресурс