Балашов, Владимир Николаевич. - Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07. - Москва, 1998. - 299 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Балашов, Владимир Николаевич.
Балашов, Владимир Николаевич.
Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07. - Москва, 1998. - 299 с.

Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
OD 71 99-5/386

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 06.07.1999
Дата поступления в ЭБ РГБ 25.12.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание299 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 99-5/386
Электронный адрес Электронный ресурс