Сорокин, Святослав Игоревич. - Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1998. - 155 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Сорокин, Святослав Игоревич.
Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1998. - 155 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1998. - 155 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 99-5/639
Описание
Автор | Сорокин, Святослав Игоревич |
---|---|
Заглавие | Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 25.06.1999 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 10.10.2014 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 1998 |
Физическое описание | 155 с. : ил. |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
BBK-код | Д232с2,0 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 99-5/639 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |