Сорокин, Святослав Игоревич - Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Сорокин, Святослав Игоревич.
Сорокин, Святослав Игоревич.

Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1998. - 155 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 61 99-5/639-3

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 25.06.1999
Дата поступления в ЭБ 11.10.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание155 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодД232с2,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/639-3
Электронный адрес Электронный ресурс