Балашов, Владимир Николаевич. - Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электроники и математики. - Москва, 1998. - 39 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Балашов, Владимир Николаевич.
Балашов, Владимир Николаевич.
Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электроники и математики. - Москва, 1998. - 39 с.

Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 98-7/992-8
FB 9 98-7/993-6

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 15.02.1999
Дата поступления в ЭБ РГБ 01.04.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т электроники и математики
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание39 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.152-060.6-5,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-7/992-8
FB 9 98-7/993-6
Электронный адрес Электронный ресурс