Шенгуров, Дмитрий Владимирович - Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Шенгуров, Дмитрий Владимирович.
Шенгуров, Дмитрий Владимирович.

Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Нижегород. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. - Нижний Новгород, 1998. - 18 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 98-7/1083-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСтруктура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 15.02.1999
Дата поступления в ЭБ 31.01.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНижегород. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Выходные данныеНижний Новгород, 1998
Физическое описание18 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.226с1,03
В379.271с1,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-7/1083-7
Электронный адрес Электронный ресурс