Шенгуров, Дмитрий Владимирович. - Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Нижегород. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. - Нижний Новгород, 1998. - 18 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Шенгуров, Дмитрий Владимирович.
Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Нижегород. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. - Нижний Новгород, 1998. - 18 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Нижегород. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. - Нижний Новгород, 1998. - 18 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
FB 9 98-7/1083-7
Описание
Автор | Шенгуров, Дмитрий Владимирович |
---|---|
Заглавие | Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 15.02.1999 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 31.01.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Нижегород. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского |
Выходные данные | Нижний Новгород, 1998 |
Физическое описание | 18 с. |
Тема | Физика полупроводников и диэлектриков |
BBK-код | В379.226с1,03 |
В379.271с1,03 | |
Специальность | 01.04.10: Физика полупроводников |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 98-7/1083-7 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |