Ефремов, Михаил Дмитриевич - Дефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Ефремов, Михаил Дмитриевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Ефремов, Михаил Дмитриевич.
Дефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Новосибирск, 1998. - 205 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
OD 61 99-1/444-9

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеДефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЕЭК 25.08.1999
Дата поступления в ЭБ 05.03.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеНовосибирск, 1998
Физическое описание205 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.251.4,03
В379.227,03
В379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-1/444-9
Электронный адрес Электронный ресурс