Ефремов, Михаил Дмитриевич - Дефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Ефремов, Михаил Дмитриевич.
Ефремов, Михаил Дмитриевич.

Дефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Новосибирск, 1998. - 205 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
OD 61 99-1/444-9

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеДефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 25.08.1999
Дата поступления в ЭБ 05.03.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеНовосибирск, 1998
Физическое описание205 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.251.4,03
В379.227,03
В379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-1/444-9
Электронный адрес Электронный ресурс