Акуленок, Марина Викторовна - Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.08

Карточка

Акуленок, Марина Викторовна.
Акуленок, Марина Викторовна.

Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.08. - Москва, 1990. - 17 c. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.08
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 03.10.2008
Дата поступления в ЭБ 11.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание17 c. : ил
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс