Акулинин, Станислав Алексеевич - Деградационные процессы в тонкопленочных компонентах интегральных схем и их влияние на качество и надежность : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01

Акулинин, Станислав Алексеевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Акулинин, Станислав Алексеевич.
Деградационные процессы в тонкопленочных компонентах интегральных схем и их влияние на качество и надежность : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01. - Воронеж, 1999. - 32 с. : ил.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеДеградационные процессы в тонкопленочных компонентах интегральных схем и их влияние на качество и надежность : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 22.10.2008
Дата поступления в ЭБ 30.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеВоронеж, 1999
Физическое описание32 с. : ил
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс