Домненко, Виталий Михайлович - Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07

Карточка

Домненко, Виталий Михайлович.

Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07. - Санкт-Петербург, 1999. - 18 с.
Оптические и оптико-электронные приборы
FB 9 99-4/1933-7
FB 9 99-4/1934-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатематическое моделирование формирования фотолитографического изображения : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Дата поступления в ЭК 29.07.1999
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1999
Физическое описание18 с.
ТемаОптические и оптико-электронные приборы
BBK-кодЗ844.15-060.6-1с116,0
Специальность05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 99-4/1933-7
FB 9 99-4/1934-5