Лютецкая, Ирина Геннадиевна - Микропрофилирование композиции "SiC-AlN" методом реактивного ионно-плазменного травления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Лютецкая, Ирина Геннадиевна.

Микропрофилирование композиции "SiC-AlN" методом реактивного ионно-плазменного травления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Санкт-Петербург, 1999. - 16 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 99-4/3177-9
FB 9 99-4/3178-7

Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМикропрофилирование композиции "SiC-AlN" методом реактивного ионно-плазменного травления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 29.07.1999
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1999
Физическое описание16 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ844.1-060.14,0
З843.308,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 99-4/3177-9
FB 9 99-4/3178-7