Алексеев, Андрей Петрович - Количественный электронно-зондовый анализ легирующих примесей в приповерхностных слоях кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04

Карточка

Алексеев, Андрей Петрович.
Алексеев, Андрей Петрович.

Количественный электронно-зондовый анализ легирующих примесей в приповерхностных слоях кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04. - Москва, 1992. - 24 c. : ил.
Физическая электроника

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеКоличественный электронно-зондовый анализ легирующих примесей в приповерхностных слоях кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 10.11.2008
Дата поступления в ЭБ 30.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1992
Физическое описание24 c. : ил
ТемаФизическая электроника
Специальность01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс