Филачев, Анатолий Михайлович - Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.04

Карточка

Филачев, Анатолий Михайлович.
Филачев, Анатолий Михайлович.

Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.04. - Москва, 1997. - 55 с. : ил.; 20х15 см.
Физическая электроника
OD 71 99-5/344-X

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.04
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 06.07.1999
Дата поступления в ЭБ 24.12.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание55 с. : ил.; 20х15 см
ТемаФизическая электроника
BBK-кодЖ614-1,0
Специальность01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 99-5/344-X
Электронный адрес Электронный ресурс