Изюмская, Наталия Федоровна - Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Изюмская, Наталия Федоровна.
Изюмская, Наталия Федоровна.

Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 1999. - 104 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 61 99-1/535-6

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 02.09.1999
Дата поступления в ЭБ 02.09.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеЧерноголовка, 1999
Физическое описание104 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодВ379.251.4-6,03
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-1/535-6
Электронный адрес Электронный ресурс