Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна - Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06

Карточка

Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна.
Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна.

Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - Москва, 1998. - 407 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 71 99-5/528-0

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФизико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 22.09.1999
Дата поступления в ЭБ 14.01.2015
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание407 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 99-5/528-0
Электронный адрес Электронный ресурс