Тупик, Виктор Анатольевич. - Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Санкт-Петербургский гос. электротехнич. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 16 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Тупик, Виктор Анатольевич.
Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Санкт-Петербургский гос. электротехнич. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 16 с.
Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Санкт-Петербургский гос. электротехнич. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 16 с.
Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 98-7/1218-X
FB 9 98-7/1219-8
Описание
Автор | Тупик, Виктор Анатольевич |
---|---|
Заглавие | Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 15.02.1999 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 01.04.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Санкт-Петербургский гос. электротехнич. ун-т |
Выходные данные | Санкт-Петербург, 1998 |
Физическое описание | 16 с. |
Тема | Оборудование производства электронной техники |
BBK-код | З844.16-060.6-64,0 |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 98-7/1218-X |
FB 9 98-7/1219-8 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |