Варзарев, Юрий Николаевич. - Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1998. - 117 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Варзарев, Юрий Николаевич.
Варзарев, Юрий Николаевич.
Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1998. - 117 с. : ил.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
OD 61 99-5/1109

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФормирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 05.10.1999
Дата поступления в ЭБ РГБ 17.10.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеТаганрог, 1998
Физическое описание117 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/1109
Электронный адрес Электронный ресурс