Варзарев, Юрий Николаевич. - Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1998. - 117 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Варзарев, Юрий Николаевич.
Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1998. - 117 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1998. - 117 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
OD 61 99-5/1109
Описание
Автор | Варзарев, Юрий Николаевич |
---|---|
Заглавие | Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 05.10.1999 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 17.10.2014 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Таганрог, 1998 |
Физическое описание | 117 с. : ил. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 99-5/1109 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |