Варзарев, Юрий Николаевич - Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Варзарев, Юрий Николаевич.
Варзарев, Юрий Николаевич.

Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1998. - 117 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 61 99-5/1109-5

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФормирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 05.10.1999
Дата поступления в ЭБ 17.10.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеТаганрог, 1998
Физическое описание117 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/1109-5
Электронный адрес Электронный ресурс