Невшупа, Роман Александрович. - Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07. - Москва, 1999. - 209 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Невшупа, Роман Александрович.
Невшупа, Роман Александрович.
Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07. - Москва, 1999. - 209 с. : ил.

Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 99-5/848

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПовышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 27.09.1999
Дата поступления в ЭБ РГБ 15.04.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1999
Физическое описание209 с. : ил.
ТемаОборудование производства электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/848
Электронный адрес Электронный ресурс