Уткин, Алексей Борисович - Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, 05.13.16

Карточка

Уткин, Алексей Борисович.

Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, 05.13.16 / С.-Петерб. гос. ун-т. - Санкт-Петербург, 1999. - 17 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
Применение вычислительной техники, математического моделирования и математических методов в научных исследованиях ( по отраслям наук )
FB 9 01-4/4182-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазвитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10, 05.13.16
Дата поступления в ЭК 01.11.1999
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиС.-Петерб. гос. ун-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1999
Физическое описание17 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
Применение вычислительной техники, математического моделирования и математических методов в научных исследованиях ( по отраслям наук )
BBK-кодВ379.271.26с25,03
В379.222с25,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 01-4/4182-2